MWD-80是一款全功能型立柜等離子清洗機,主要用于材料表面微觀凈化、活化、改性、去氧化、刻蝕、去膠等處理,具有高效和無損傷的特點,適合于批量生產領域。
腔體內部尺寸 | W400×H495×D435mm |
微波功率 | 2.45 GHz,100-1000W可調(更高功率可選) |
工藝氣路 | 標準2路,包括質量流量計和控制電磁閥等 |
真空規 | Pirani真空計或電容式薄膜壓力規 |
控制系統 | 觸摸屏工控機+PLC控制 |
真空泵 | 雙級旋片式真空泵或無油干泵 |
工作臺 | 直徑340mm,可旋轉 |
電源 | 220/380V,50/60Hz,4.5KW 含真空泵 |
外形尺寸 | W875×H1900×D1050mm |
主要應用 | 材料表面有機污染物去除、表面活化、氧化物還原、光刻膠底膜去除以及表面聚合涂層等 |
【配置選項】
真空系統、額外工藝氣路、物料工件旋轉臺、清洗擱架、頂/側裝微波源、軟啟動和慢速充氣、法拉第網、推拉門/鉸鏈門
【產品特點】
無損傷清洗、完美兼顧物理和化學清洗方式、超潔凈清洗效果、優秀的去氧化清洗能力、工藝溫度低